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  • OTL1200 单温区PECVD系统

    OTL1200 单温区PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新时间:2022-03-31
    型号:
    厂商性质:生产厂家
    浏览量:109
  • RTF1200转动式PECVD系统

    RTF1200转动式PECVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新时间:2022-03-31
    型号:
    厂商性质:生产厂家
    浏览量:84
  • OTL1200单温区CVD系统

    OTL1200单温区CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新时间:2022-03-31
    型号:
    厂商性质:生产厂家
    浏览量:101
  • OTL1200单温区可调真空CVD双管炉

    OTL1200单温区可调真空CVD双管炉由供气系统+管式炉+抽气系统,最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

    更新时间:2022-03-31
    型号:
    厂商性质:生产厂家
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