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GTK150扩散泵高真空机组系统是由FFX-16前级机械泵、扩散泵、高真空阀、前级管路，冷凝器、高真空检测系统（复合真空计）等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。该机组的真空度可达到5X10-3 Pa(即0.005Pa)，安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠，可广泛用于表面分析、钎焊、真空热处理、真空熔炼、加速器技术、半导体设备、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。

HVS-8低真空系统（能把管式炉内的真空度抽到1Pa即0.000001mpa）由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵组成，在法兰出气嘴处接根三通管，三通管一端接电阻硅，另一端接高真空挡板阀，用Dia25的波纹把挡板阀和真空泵连接起来，连接口用KF25快捷卡箍。

一、分子泵高真空机组系统机组技术参数 1、机组输入电压：220V/380V 2、波纹管：KF40*1000mm 3、真空挡板阀：KF40 4、机箱尺寸：600*600*600mm